氮氣純化工藝采用直接脫氧法，其工作原理為將制氮機生產(chǎn)出來的氮氣直接進入氮氣純化裝置進行脫氧、脫水，制取合格的高品質(zhì)高純氮氣；通過管道，直接把制取的氮氣通入裝有碳脫氧劑的容器內(nèi)，通過加熱后,氮氣中的氧被吸附，當(dāng)吸附飽和時則此碳脫氧劑的壽命即到，將更換碳脫氧劑。因此該碳脫氧劑被稱為消耗型脫氧劑 （裝置設(shè)計為單塔除氧使用期1個月，后續(xù)需全部更換脫氧劑，即重新裝填；本套設(shè)備設(shè)計為兩個塔，兩塔交替使用，相同使用周期） 脫氧后的氮氣中殘氧量可小于10ppm。脫氧后的氮氣進入干燥器內(nèi)，干燥器內(nèi)裝有分子篩，氮氣經(jīng)脫氧后產(chǎn)生微量CO2、CO被深度吸附;工藝上采用雙塔吸附，每只干燥器的工作周期設(shè)計為24小時，塔的轉(zhuǎn)換和再生均用自動控制。
